Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/S 98 Автор(ы) : Akashev L. A., Popov N. A., Kochedykov V. A., Shevchenko V. G. Заглавие : Synthesis of aluminum nitride nanolayers Место публикации : Technical Physics Letters. - 2013. - Vol. 39, № 2. - С. 154-156 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нитрид алюминия--нанослои Доп.точки доступа: Akashev, L. A.; Popov , N. A.; Kochedykov, V. A.; Shevchenko, V. G.; Шевченко Владимир Григорьевич