К 89 Кузнецов, М. В. Осаждение молекулярного кислорода в вакууме на поверхность пленок Ti и TiN: РЭС-исследование [] / М. В. Кузнецов, Ю. Ф. Журавлев, В. А. Губанов // Поверхность: Физика, химия, механика. - 1992. - Т. 11, N 2. - С. 86-91. - Библиогр.: 10 назв. . - ISSN 0207-3528 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОСАЖДЕНИЕ КИСЛОРОДА -- РЭС-ИССЛЕДОВАНИЕ -- ПЛЕНКИ -- ПОВЕРХНОСТИ -- ТИТАН -- КАРБИД ТИТАНА -- Ti -- TiC -- КИСЛОРОД МОЛЕКУЛЯРНЫЙ -- МОЛЕКУЛЯРНЫЙ КИСЛОРОД -- ВАКУУМ -- ХИМИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА |