Р 96 РЭС исследование пленок Ti-N, синтезированных методом КИБ [] / М. В. Кузнецов, С. В. Борисов, Ю. Ф. Журавлев, В. А. Губанов, О. Ф. Денисов, Р. С. Барышев, Б. В. Митрофанов // Поверхность и новые материалы/ УрО АН СССР: Информ. материалы. - 1990. - С. 158-165 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ХИМИЯ -- Ti-N -- НИТРИД ТИТАНА -- ПЛЕНКИ -- СИНТЕЗ -- МЕТОД РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ |