И 88 Исследование покрытий TiC-C методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии = Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchronton and Neutron Technigues / М. В. Кузнецов, С. В. Борисов, О. П. Шепатковский, Ю. Г. Векслер, В. Л. Кожевников // Поверхность: Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - № 5. - С. 3-10 : табл., граф. - Библиогр.: с. 10 (14 назв.) . - ISSN 0207-3528 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КАРБИД ТИТАНА -- МЕТОД РЕНТГЕНОВСКОЙ ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ -- ПОКРЫТИЯ -- УГЛЕРОД Аннотация: Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследованы покрытия на основе карбида титана, осажденные по КИБ-технологии в атмосфере С2H2/Ar. Установлено, что помимо кубической фазы оксикарбида TiCxOy в пленках присутвует углерод, находящийся в аморфном, предположительного графитоподобном, состоянии. В С1s-спектрах углерода TiCx-состоянию соответствует полоса при 282.0 эВ, в аморфному углероду - 284.4 эВ, C-H-связям - 286.0 эВ. Максимум при 283.0 эВ интерпретирован нами как состояние C в наноформах карбида титана: кластерах Ti14C13 или карбоэдренах Ti8C14. Соотношение между различными фазами варьируется условиями осаждения покрытий: в работе рассмотрены варианты осаждения TiC/a-C распылением Ti-катода в среде C2H2/Ar, распыление составной мишени Ti/C в среде Ar и C2H2/Ar. При использовании Ti-катода и смеси газов C2H2/Ar соотношение карбидных и аморфной a-C-фаз оценено как 1 : 1, поверхностный слой толщиной -15 нм обогащен аморфным углеродом. Предполагается, что композиционные покрытия TiC/a-C с дополнительной a-C-пленкой на поверхности будут обладать повышенной стойкостью к реакционным средам и хорошей биосовместимостью |