С 38 Синтез наноразмерных слоев / Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. А. Кочедыков, В. Г. Шевченко> // Письма в Журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, № 3. - С. 26-32 : ил. - Библиогр.: с. 31-32 (13 назв.) Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ -- НАНОСЛОИ Аннотация: Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623oC и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520-580oC и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m2/g |