Инвентарный номер: нет.        S 98         Synthesis of aluminum nitride nanolayers / L. A. Akashev, N. A. Popov , V. A. Kochedykov, V. G. Shevchenko // Technical Physics Letters. - 2013. - Vol. 39, № 2. - С. 154-156 ББК 54 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- НАНОСЛОИ