С 38 Синтез наноразмерных слоев нитрида алюминия / Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. А. Кочедыков, В. Г. Шевченко // Письма в Журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, № 3. - С. 26-32 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОРОШКИ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- ИК-СПЕКТРОСКОПИЯ Аннотация: Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623oC и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520-580oC и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m2/g. |