Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/И 88 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Борисов С. В., Журавлев Ю. Ф., Барышев Р. С., Денисов О. Ф., Митрофанов Б. В., Губанов В. А. Заглавие : Исследование пленок TiAlN методом рентгеноэлектронной спектроскопии Место публикации : Поверхность: физика, химия, механика. - 1989. - N 12. - С. 141-146. - ISSN 0207-3528. - ISSN 0207-3528 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--пленки--метод рентгеноэлектронной спектроскопии--ti--al--n--титан--tialn--азот Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Борисов, С. В.; Журавлев, Ю. Ф.; Барышев, Р. С.; Денисов, О. Ф.; Митрофанов, Б. В.; Губанов, В. А.