Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/О-23 Автор(ы) : Шалаева Е. В., Суров Е. В., Кузнецов М. В., Митрофанов Б. В. Заглавие : Образование аморфного оксида в пленках, полученных распылением ниобия в атмосфере аргон-азот Место публикации : Проблемы исследования структуры аморфных металлических сплавов: 3-я Всесоюз. конф.: Тез. докл. - М., 1988. - Т. 2. - С. 378-379 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--аморфные оксиды--оксиды аморфные--пленки--распыление ниобия--ниобий--nb--аргон-азот Доп.точки доступа: Шалаева, Е. В.; Суров, Е. В.; Кузнецов, М. В.; Митрофанов, Б. В.