Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Ш 18 Автор(ы) : Шалаева Е. В., Суров Е. В., Митрофанов Б. В. Заглавие : Влияние примесного кислорода на структуру и состав пленок, полученных распылением Nb в среде Ar-N2 Место публикации : Поверхность: физика, химия, механика. - 1989. - N 1. - С. 65-72. - ISSN 0207-3528. - ISSN 0207-3528 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--ar-n2--аргон--азот--ar--n2--примеси--кислород--пленки--структура пленок--состав пленок--распыление--nb--ниобий--газовые среды--среды газовые Доп.точки доступа: Суров, Е. В.; Митрофанов, Б. В.