Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 54/А 38
Автор(ы) : Акашев Л. А., Кочедыков В. А., Кононенко В. И.
Заглавие : Эллипсометрическое исследование термического окисления реальной поверхности алюминия
Место публикации : Методы локального анализа и их метрологическое обеспечение: Всесоюз. науч.-техн. конф. (14-16 февр. 1984 г.): Тез. докл. - Свердловск, 1984. - С. 101
ББК : 54
Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--эллипсометрия--термическое окисление--окисление термическое--поверхности--al--алюминий

Доп.точки доступа:
Кочедыков, В. А.; Кононенко, В. И.