Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Р 96 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Журавлев Ю. Ф., Шалаева Е. В., Новиков Д. Л., Фриккель Д. П. Заглавие : РЭС исследование электронного строения пленок TiNxOy и TiN Место публикации : Химия твердого тела: Школа молодых ученых (Свердловск, 30 янв. - 5 февр. 1989 г.): Тез. докл. - Свердловск, 1989. - С. 37-38 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--tinxoy--tin--рентгеноэлектронная спектроскопия--спектроскопия рентгеноэлектронная--строение электронное--электронное строение--пленки--нитрид титана--оксонитрид титана Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Журавлев, Ю. Ф.; Шалаева, Е. В.; Новиков, Д. Л.; Фриккель, Д. П.