Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Э 94 Автор(ы) : Зацепин Д. А., Курмаев Э. З., Шеин И. Р., Черкашенко В. М., Шамин С. Н., Чолах С. О. Заглавие : Эффект больших доз в рентгеновских SiL2,3-эмиссионных спектрах при имплантации кремния ионами железа в стационарном режиме Место публикации : Физика твердого тела. - 2007. - Т. 49, № 1. - С. 72-77: рис., табл. - ISSN 0367-3294. - ISSN 0367-3294 Примечания : Библиогр.: с. 77 (24 назв.) ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): рентгеновская эмиссионная спектроскопия--ионы железа--имплантация кремния--эффект больших доз Аннотация: Методом рентгеновской SiL2,3-эмиссионной спектроскопии исследован эффект больших доз (ЭБД) вобразцах кремния с проводимостью p- и n-типа, имплантированных ионами Fe+ в стационарном сканирующем режиме. Выполнен анализ SiL-спектров посредством их сравнения со спектрами эталонов, проведено сопоставление с рентгеновскими спектральными данными по импульсной имплантации ионами Fe+, а также их моделирование методом молекулярной динамики и полнопотенциальным методом присоединенных плоских волн. Установлены особенности проявления ЭБД при стационарном режиме внедрения ионов Fe+ в полупроводниковую кристаллическую матрицу Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Зацепин, Д. А.; Курмаев, Э. З.; Шеин, И. Р.; Черкашенко, В. М.; Шамин, С. Н.; Чолах, С. О.