Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/O-56 Автор(ы) : Kuznetsov V. P., Alyabina N. A., Bozhenkin V. A., Belova O. V., Kuznetsov M. V. Заглавие : On the modes of evaporation of Si and dopants in vacuum epitaxy procedures Место публикации : Semiconductors. - 2008. - Vol. 42, № 3. - С. 251-256 Примечания : Библиогр. : с. 256 (8 назв.) ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Kuznetsov, V. P.; Alyabina, N. A.; Bozhenkin, V. A.; Belova, O. V.; Kuznetsov, M. V.; Кузнецов Михаил Владимирович