Пат. 2463554 Российская Федерация, МПК G01B11/06, G01N21/21. Способ определения толщины тонкой прозрачной пленки / Л. А. Акашев, В. Г. Шевченко, В. А. Кочедыков, Н. А. Попов ; патентообладатель Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН. - № 2011118830/28 ; Заявл. 10.05.2011 ; Опубл. 10.10.2012 // Изобретения. Полезные модели. - 2012. - № 28 Рубрики: ФИЗИКА |