Пат. 2513119 Российская Федерация, МПК Н05Н1/24. Гаврилов, Н. В. Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы / Н. В. Гаврилов, А. И. Меньшаков ; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики. - № 2012125780/07 ; Заявл. 20.06.2012 ; Опубл. 20.04.2014, М. // Изобретения. Полезные модели. - 2014. - № 11 |