Заявка 2013132711 Российская Федерация, МПК C23C4/00, B82B1/00. Гаврилов, Н. В. Способ получения нанокомпозитного Ti/a-C:H-покрытия / Н. В. Гаврилов, А. С. Каменецких ; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики. - № 2013132711/02 ; Заявл. 15.07.2013 ; Опубл. 20.01.2015 // Изобретения. Полезные модели. - 2015. - № 2 |