Пат. 2676720 Российская Федерация, МПК C23C 14/24. Гаврилов, Николай Васильевич. Способ вакуумного ионно-плазменного низкотемпературного осаждения нанокристаллического покрытия из оксида алюминия / Н. В. Гаврилов, А. С. Каменецких, П. В. Третников ; Заявитель и патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук. - № 2018110895 ; Заявл. 28.03.2018 ; Опубл. 10.01.2019 // Изобретения. Полезные модели. - 2019. - № 1 |