Пат. 2683879 Российская Федерация, МПК G01N 21/21, H01L 21/66. Акашев, Лев Александрович. Способ определения линейного коэффициента теплового расширения тонкой прозрачной пленки / Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. Г. Шевченко ; Патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук. - № 2018122320 ; Заявл. 20.06.2018 ; Опубл. 02.04.2019 // Изобретения. Полезные модели. - 2019. - № 10 |