Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Акашев, Лев Александрович, Шевченко, Владимир Григорьевич, Кочедыков, Виктор Анатольевич, Попов, Николай Александрович Заглавие : Способ определения толщины тонкой прозрачной пленки .- Коллективы : Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН (Екатеринбург) Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2012. - № 28 Предметные рубрики: ФИЗИКА Доп.точки доступа: Акашев, Лев Александрович; Шевченко, Владимир Григорьевич; Кочедыков, Виктор Анатольевич; Попов, Николай Александрович; Учреждение Российской академии наук Институт химии твердого тела Уральского отделения РАН (Екатеринбург)