Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гаврилов Н. В., Каменецких А. С. Заглавие : Способ получения нанокомпозитного Ti/a-C:H-покрытия .- Коллективы : РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2015. - № 2 Доп.точки доступа: Каменецких, А. С.; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики