Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Головкин Б. Г., Сальников В. В. Заглавие : Способ определения эллипсометрических параметров .- Коллективы : РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт химии твердого тела Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2009. - № 9, ч. IV. - С. 999 Предметные рубрики: ФИЗИКА Доп.точки доступа: Сальников, В. В.; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт химии твердого тела