546 А 69 Анохин, Валентин Захарович. Кинетика и механизм термического окисления кремния / В. З. Анохин ; науч. ред. Я. А. Угай. - Воронеж : Изд-во Воронежского ун-та, 1983. - 192, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 185-193. - 1.80 р. РУБ 546 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--НЕОРГАНИЧЕСКАЯ ХИМИЯ Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА |