Инвентарный номер: И-11385 - кх. 642 G 71 Graff, Klaus. Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication / K. Graff. - 2nd ed., revised. - Berlin [et al.] : Springer-Verlag, 2000. - 268 c. : ил., табл. - (Springer Series in Materials Science ; 24). - Библиогр.: с. 246-266. - Указ.: с. 267-268. - ISBN 3-540-64213-7 : 693.08 р. РУБ 642 Рубрики: ЭНЕРГЕТИКА--ЭЛЕКТРОТЕХНИКА--ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИКА ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ--ТЕХНОЛОГИЯ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ--ТЕХНОЛОГИЯ ОСНОВНЫХ ХИМИЧЕСКИХ ПРОДУКТОВ Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА |