Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/M 78 Заглавие : Modelling of Microfabrication Systems : научное издание Выходные данные : Berlin [et al.]: Springer, 2003 Колич.характеристики :X, 269 с.: ил. Серия: Microtechnology and Mems .     Physics and Astronomy Online Library Примечания : Библиогр.: с. 249-261 . - Указ.: с. 263-269 ISBN, Цена 3-540-00252-9: 851.00 р. ГРНТИ : 47.01 ББК : З844.1 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Nassar, Raja \ed.\; Dai, Weizhong \ed.\