Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/З-38 Автор(ы) : Зацепин, Дмитрий Анатольевич, Чолах, Серафим Османович Заглавие : Физические основы технологий микро- и наноэлектроники : учебное пособие Выходные данные : Екатеринбург, 2006 Колич.характеристики :235 с.: граф., рис. Коллективы : Уральский государственный технический университет-УПИ, Институт физики металлов Уральского отделения Российской академии наук Примечания : Библиогр.: с. 233-235 ISBN, Цена 978-5-321-00974-1: 30.00 р. ГРНТИ : 47 ББК : З844.1я73 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :бр.ф.(1) Свободны : бр.ф.(1) Доп.точки доступа: Чолах, Серафим Османович; Курмаев, Э. З. \ред.\; ИФМ; Уральский государственный технический университет-УПИИнститут физики металлов Уральского отделения Российской академии наук