П 76 Применение нанокристаллического бемита в технологии подложек микросхем / Е. С. Лукин, Ю. А. Мазалов, Н. А. Попова, А. В. Федоров // Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 63-66 : рис. - Библиогр. : с. 66 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БЕМИТ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ -- ПОДЛОЖКИ МИКРОСХЕМ -- СВОЙСТВА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ Аннотация: Приведены результаты экспериментальных исследований порошка нанокристаллического бемита, процесса уплотнения, микроструктуры и свойств корундовой керамики с пониженной температурой спекания. Керамические материалы, полученные из нанокристаллического бемита с подобранными добавками, спекаются до нулевой плотности при пониженных температурах, не выше 1400 - 1550°С. Керамика характеризуется мелкокристаллической структурой, имеет высокие диэлектрические свойства. Материалы являются перспективными в качестве подложек микросхем и спаев с металлами |