С 60 Соловьев, В. В. Модель прецизионной обработки твердых хрупких кристаллических материалов с получением нанометрового рельефа поверхности [] / В. В. Соловьев // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - №12. - С. 10-14 : рис. - Библиогр. : с. 14 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЛЕЙКОСАПФИР -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- КВАЗИПЛАС ОБРАБОТКА КВАЗИПЛАСТИЧНАЯ ПОВЕРХНОСТНАЯ -- ПОДЛОЖКИ Аннотация: Все большее применение алмазы и другие алмазоподобные твердые материалы находят в промышленности. Монокристаллы лейкосапфира благодаря своим свойствам находят широкое применение при производстве высокотехнологичных изделий в области нанотехнологий. Шероховатость поверхности подложки является важным параметром при изготовлении высокочастотных приборов. Наличие дислокаций, микротрещин приводит к образованию дефектов в эпитаксиальных слоях, ухудшая эксплуатационные свойства микросхем. Для изготовления указанных изделий необходима прецизионная обработка поверхности с получением нанометрового рельефа. Традиционная обработка представляет собой сложную технологическую схему с финишным полированием в агрессивных средах. Перспективный метод квазипластичной обработки позволяет получать на этапе алмазного шлифования высококачественную поверхность |