О-93 Оценка изгибной жесткости и деформации микроразмерных исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОРАЗМЕРНЫЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Проведена экспериментальная оценка изгибной жесткости микроразмерных исполнительных элементов на основе монокристалaического кремния и структуры "ванадий-никель" путем сравнения зависимостей "нагрузка-деформация", измеренных на жестком конструкционном материале и подвижном исполнительном элементе из того же материала. Показано, что экспериментальные значения изгибных жесткостей исполнительных элементов близки к расчетным |