Т 65 Трансформация германосиликатного стекла в нанокластеры германия / А. А. Ковалевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 18-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (24 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКЛАСТЕРЫ ГЕРМАНИЯ -- СТЕКЛО ГЕРМАНОСИЛИКАТНОЕ -- ОТТЕСНЕНИЯ ГЕРМАНИЯ Аннотация: С использованием спектроскопии рамановского рассеивания света, ИК-спектроскопии, высокоразрешающей электронной и атомной силовой микроскопии и анализа дифракции рентгеновских лучей представлены результаты исследований процесса самоорганизации нанокластеров германия в пленках германосиликатного стекла (ТСС)- (SixGeyOz), полученных в процессе окисления и термообработки наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием (НСПКК (Ge)). Рассмотрен механизм оттеснения Ge в ТСС к границе раздела ТСС - подложка, который включает следующие стадии: расслоение между GeO2 и SiO2, последующее восстановление кремнием и водородом GeO2 до Ge и образование ядер маленьких кристаллитов Ge с их последующим ростом |