И 88 Исследование и разработка газопоглощающих покрытий для МЭМС / С. П. Тимошенков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 24-27 : рис. - Библиогр. : с. 27 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ПОКРЫТИЯ ГАЗОПОГЛОЩАЮЩИЕ -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- СТРУКТУРЫ ФРАКТАЛЬНЫЕ Аннотация: Методом магнетронного распыления получены наноструктуированные пленки состава Ti1-хVх, представляющие интерес в качестве геттерных покрытий в микроэлектромеханических системах. Показано, что получаемые покрытия имеют выраженный гранулированный характер с размером зерен в диапазоне 20...120 нм. Рассчитанные значения фрактальной размерности свидетельствуют о высокой развитости поверхности пленок |