М 74 Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОД ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ -- ДАТЧИКИ-КАНТИЛЕВЕРЫ ЗОНДОВЫЕ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ РАСТЕКАНИЯ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники |