И 88 Использование методов фрактальной геометрии для анализа морфологических свойств и управления качеством получаемого информационного массива по результатам измерений наноразмерных объектов с использованием атомно-силового микроскопа / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 8-13 : рис. - Библиогр. : с. 13 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- РАЗМЕРНОСТЬ ФРАКТАЛЬНАЯ -- МЕТОД ФРАКТАЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ -- АСМ-ИЗМЕРЕНИЯ Аннотация: Методы атомно-силовой микроскопии (АСМ) получают все большее распространение в задачах исследования нанообъектов и наноструктур. Используемые подходы позволяют получать с высоким разрешением карту свойств поверхности. Для многих измерений принципиален вопрос об избыточности проводимых измерений и возможности управлением качеством получаемой информации. На основе методов фрактальной геометрии на примере одномерных зависимостей предложены методы управления качеством и точностью получаемого информационного массива на основе АСМ-измерений |