С 34 Сидорова, С. В. Исследование формирования островковых наноструктур в вакууме / С. В. Сидорова, П. И. Юрченко // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 5. - С. 9-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ ОСТРОВКОВЫЕ Аннотация: Приводятся результаты исследования формирования островковых наноструктур в вакууме методом термического испарения. Представлены экспериментальный стенд и методика контроля роста островковых наноструктур в процессе испарения меди. Показаны зависимости размеров островковых наноструктур от технологических параметров |