С 38 Синев, Л. С. Согласование коэффициентов термического расширения при эдектростатическом соединении кремния со стекдом / Л. С. Синев, В. Т. Рябов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 5. - С. 24-27 : рис., граф. - Библиогр. : с. 27 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- СОЕДИНЕНИЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- СТЕКЛО -- РАСШИРЕНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЕ Аннотация: Рассмотрены напряжения, возникающие в деталях из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом из-за разницы их коэффициентов теплового линейного расширения. Представлена аналитическая модель, позволяющая графически определить оптимальную температуру доведения соединения. Даны рекомендации по выбору температуры доведения процесса соединения |