Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение временной стабильности датчиков давлений на основе тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 31-38 : рис. - Библиогр. : с. 38 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИМЭМС -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СТАБИЛЬНОСТЬ -- ТЕМПЕРАТУРА -- КРИТЕРИЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Рассмотрена временная стабильность датчиков давления на основе тонкопленочных нано- и микросистем (НиМЭМС), выработаны условия и критерии временной стабильности. Предложен структурно-факторный метод повышения временной стабильности НиМЭМС. Экспериментально подтверждена адекватность предложенных условий и критериев временной стабильности НиМЭМС |