С 76 Стабильность электрических свойств широкозонных газочувствительных наноструктурированных материалов / С. Д. Сякина [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 10-14 : граф. - Библиогр. : с. 14 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- МАТЕРИАЛЫ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ -- НАНОСТЕРЖНИ -- СТАБИЛЬНОСТЬ ТЕРМИЧЕСКАЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ ШИРОКОЗОННЫЕ Аннотация: Влияние сорбции на сопротивление тонких пленок оксидов металлов широко применяется в сенсорах газа. Адсорбция на поверхности широкозонных полупроводников, например, диоксида олова, частиц газа-окислителя приводит к захвату носителей заряда из объема зерен и вызывает изменение электрофизических свойств материала. В качестве регистрируемого параметра у газочувствительных слоев обычно используют значение проводимости пленки в газовой пробе. В работе предлагается использовать для детектирования газов различной природы поликристаллические слои SnO2 с зернами цилиндрической формы (наностержни), вследствие большей термической стабильности их электрофизических свойств по сравнению со слоями, состоящими из зерен сферической формы. Такая особенность наностержней обусловлена слабой зависимостью проводимости отдельных зерен слоев от геометрических размеров межзерен-ных перешейков, которые образуются при повышенных температурах, вследствие сращивания отдельных зерен |