Д 40 Джашитов, В. Э. Суперминиатюрный микромеханический датчик инерциааьной информации в условиях тепловых воздействий / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 18-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК СУПЕРМИНИАТЮРНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК ИНЕРЦИАЛЬНОЙ ИНФОРМАЦИИ -- ВОЗДЕЙСТВИЯ ТЕПЛОВЫЕ -- МОДЕЛИ МАТЕМАТИЧЕСКИЕ Аннотация: Построены и исследованы математические модели тепловых процессов суперминиатюрного (объем < 0,2 мм3) микромеханического датчика инерциальной информации. Разработано поддерживающее программное обеспечение, позволяющее решать задачи расчета, анализа и визуализации нестационарных температурных полей датчика, веден качественный и количественный анализ влияния внешних и внутренних тепловых воздействий на температурные поля датчика, показана возможность убавления этими полями. Полученные данные позволят создать суперминиатюрный микромеханический гироскоп с заданными свойствами и инвариантный к тепловым воздействиям |