А 64 Анализ концепций построения твердотельных микрогироскопов на поверхностных акустических волнах / Д. П. Лукьянов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 24-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (26 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВОЛНА ПОВЕРХНОСТНАЯ АКУСТИЧЕСКАЯ -- МЭМС -- ГИРОСКОП ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- МАССА ИНЕРЦИОННАЯ Аннотация: Рассматриваются концепции построения твердотельных микромеханических гироскопов (ТМГ) на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Приводится сопоставительный анализ схемно-технических решений, результатов экспериментальных исследований и достигнутых точностных характеристик. Даются оценки времени готовности ТМГ и анализируются направления дальнейшего развития виброустойчивых и ударопрочных твердотельных сенсоров на ПАВ |