Инвентарный номер: нет. К 17 Калюжный, Д. Г. Электрогидравлический манипулятор микроперемещений / Д. Г. Калюжный // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 91-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (4 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАНИПУЛЯТОР -- СКАНИРОВАНИЕ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЕ -- НАНОПЛЕНКА -- НАПЫЛЕНИЕ -- ПРИВОД ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ Аннотация: Разработано устройство, позволяющее производить дистанционное микроперемещение объектов. В основу разработки положено оптико-механическое устройство сканирования. Универсальный способ перемещения объектов позволяет изменять полный ход перемещения в широких пределах, сохраняя при этом минимальный шаг. В предложенной конструкции полный ход превышает 6 мм, минимальный шаг 0,0025 мм |