В 19 Васильев , В. А. Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур / В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЧАСТОТНЫЕ Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей |