М 92 Мухуров, Н. И. Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 2. деформированные держатели / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 25-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- КОНСТРУКЦИЯ ОБЪЕМНАЯ И ПЛАНАРНАЯ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ ДЕРЖАТЕЛЕЙ -- СИЛЫ МЕХАНИЧЕСКИЕ РЕАКТИВНЫЕ -- СИЛЫ ЭЛЕКТРОСТАТИСТИЧЕСКИЕ АКТИВНЫЕ Аннотация: Исследованы варианты электростатических микрореле с упругодеформированными держателями в объемном и планарном конструктивном исполнении. Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования держателей. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций |