Т 38 Соколов , Л. В. Технологические особенности формирования трехмерных МЭМС / Л. В. Соколов , Н. М. Парфенов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 19-26 : рис., табл. - Библиогр. : с. 18 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС-УСТРОЙСТВА -- ФОРМИРОВАНИЯ ТРЕХМЕРНЫХ МЭМС -- ТЕХНОЛОГИИ СОВРЕМЕННЫЕ Аннотация: Обобщены и проанализированы современные достижения в области исследований и разработки различных физико-химических процессов травления монокристаллического кремния для формирования объемных микромеханических структур, показаны основные тенденции развития сенсорови МЭМС-устройст |