Н 16 Нагель, М. Ю. Моделирование роста осаждаемых пленок / М. Ю. Нагель, Ю. В. Мартыненко // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 104-108 : рис., табл. - Библиогр. : с. 108 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- КОНЦЕНТРАЦИЯ КЛАСТЕРОВ -- ПОЛИКРИСТАЛЛ -- АДАТОМЫ Аннотация: Описан численный код, позволяющий моделировать процесс образования осаждаемых пленок, а также приведены результаты расчета размера зерна поликристаллической пленки в зависимости от параметров осаждения. Рассмотрены процессы, происходящие на поверхности подложки: движение адсорбированных атомов (адатомов) по поверхности, их объединение в кластеры, рост кластеров, приводящий к образованию поликристалла. Показано, что со временем осаждения концентрация кластеров достигает насыщения С, а размер зерен образующегося в последующем поликристалла равен d = C-1/2. Концентрация кластеров растет при увеличении потока атомов на подложку и при уменьшении коэффициента диффузии атомов по поверхности D. Причем размер зерна поликристалла зависит от безразмерного параметра ф = qa4/D (а - атомный размер, q - поток атомов на подложку), как d=ф -1/4-ф -1/6. Концентрация кластеров растет (а размер зерен убывает) при затрудненном образовании кластеров: при убывании сечения захвата атомов кластерами и атомами, при наличии силы отталкивания атомов друг от друга и от кластеров |