И 88 Чуйко, О. В. Исследование кремниевых наноструктур в качестве рН-чувствительных элементов / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 40-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОЛОКИ КРЕМНИЕВЫЕ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- PH -- ISFET Аннотация: Исследованы pH-чувствительные элементы, выполненные на основе кремниевых наноструктур. Формирование наноструктур осуществлялось методом "top-down" ("сверху-вниз"). Нано-проволочные структуры характеризуются более высокой чувствительностью. Интегрированный элемент на основе двух нанопроволок p- и n-типов может быть использован в качестве датчика локального относительного изменения концентрации[Н+] |