И 88 Исследование резонансных характеристик металлических микро- и нанобалок / И. В. Уваров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 45-48 : граф., рис. - Библиогр. : с. 48 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРО- И НАНОБАЛКИ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ -- БАЛКИ МНОГОСЛОЙНЫЕ -- ВОЗБУЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ЧАСТОТА РЕЗОНАНСНАЯ Аннотация: Исследуются резонансные характеристики трехслойных металлических микро- и нанобалок толщиной от 60 до 180 нм. Колебания балок возбуждаются электростатически, регистрация колебаний осуществляется оптическим методом. Получены зависимости резонансных частот балок от геометрических параметров балок. Выполнено сравнение экспериментальных данных с результатами аналитических расчетов и численного моделирования |