Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |