Ф 79 Формирование пленок диоксида олова с вертикально ориентированными нанопорами / В. В. Симаков [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 3. - С. 45-46 : рис. - Библиогр. : с. 46 (назв. 5) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИОКСИД ОЛОВА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- СЛОИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ Аннотация: Показана возможность получения методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления покрытий из оксида олова, перспективных для широкого применения. Слои наноструктурированы, насыщены открытыми порами, ориентированными перпендикулярно подложке. Предложен механизм формирования покрытий, при котором размеры зерен определяются плотностью зародышеобразования. Показано, что плотностью зародышеобразования кристаллитов можно управлять, меняя рабочее давление в вакуумной камере |