С 22 Саханский, С. П. Модель управления формой при выращивании монокристаллов германия / С. П. Саханский // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 2-5 : рис. - Библиогр.: с. 5 (назв. 4) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГЕРМАНИЙ -- МОДЕЛЬ -- ФОРМА -- МОНОКРИСТАЛЛ -- ВЫРАЩИВАНИЕ Аннотация: Предложена модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов германия по способу Чохральского, которая позволяет вести управление формой выращиваемых кристаллов на участках прямого и обратного конуса |