Инвентарный номер: нет.        О-22         Оборудование для сборки изделий микросистемотехники // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 15-21 : рис. - Библиогр.: с. 21 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586 УДК 620.3 ББК 623.7 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ